| システム構成例 |
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| 応用例 |
| ■半導体ウエハ貼り合わせ加圧時平行補正制御 |
| ■正弦波120°位相同期による渦上加圧制御 |
| ■位置決め制御／温度制御／光源調整 他 |
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| 仕様 |
| ■ピエゾ出力 |
| 項目 |
内容 |
| 制御軸数 |
全4軸（3軸オープン／クローズ ＋ 1軸：オープン） |
| 制御方式 |
オープンループ／クローズドループ |
| クローズドループ設定項目 |
P（比例）ゲイン／I（積分）ゲイン／INP（位置決め範囲） |
| 制御分解能 |
16bit MSBは±極性（±15bit） |
| 出力電圧レンジ（V） |
±2.5／±5.0／±7.5／±10.0 |
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| ■センサー入力 |
| 項目 |
内容 |
| 入力電圧レンジ（V） |
±2.5／±5.0／±7.5／±10.0 |
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| ■振動駆動 |
| 項目 |
内容 |
| 発振波形 |
正弦波（デフォルト）／短形波／三角波／鋸歯状波 |
| 設定項目 |
振幅 ／ オフセット ／ 周波数 ／ 位相 |
| 周波数 |
0.01〜34.7Hz |
| 振幅 |
出力電圧レンジによる |
| 位相 |
0〜360°（deg） |
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| 項目 |
内容 |
| 制御入出力 |
汎用入力8点／汎用出力5点 |
| 制御入出力用電源 |
DC+24V／0.2A |
| インターフェイス |
USB Ver.1.1 |
| 電源 |
AC100V 0.5A 50/60Hz |
| オプション |
センサアンプ、ドライバアンプ |
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| 項目 |
内容 |
| OS |
Windows(R) 2000／XP |
| 開発環境 |
VB、VC |
| 製品内容（主なもの） |
本体、ドライバソフト、DLLソフト、サンプルアプリケーション、取扱説明書、DLL関数ドキュメント、保証書 |
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