超短パルスレーザー微細加工システム

加工トライアル可能!お気軽にご相談下さい

精密微細加工に特化したオリジナルの高精度レーザー加工システムを保有し、ガラス、セラミックス、樹脂、金属などの加工トライアル(テスト加工)や加工検証に対応しています。 加工可否の確認や加工条件の検討から、用途に合わせたレーザー加工装置・システムの開発までご相談いただけます。

加工トライアルで確認・評価できること

フェムト秒・ピコ秒の超短パルスレーザーを用いて、材料や用途に応じた加工トライアル(テスト加工)や評価が可能です。加工可否の確認や加工条件の検討、量産前の評価などを行い、加工実験の結果をもとに、お客様の用途に適したレーザーシステムの構成をご提案します。
「まずは実際に加工して確かめたい」といったご相談から、お気軽にご相談ください。

こんなご相談に対応しています

  • この材料をレーザーで加工できるか確認したい
  • 微細穴や微細溝を加工したい
  • レーザーによる表面改質を検討したい
  • IRピコ秒・Greenフェムト秒レーザーで加工を試したい
  • 量産に向けて加工条件を検証したい
  • 用途に合ったレーザー加工装置を導入したい
  • 既製の装置では対応できない加工を実現したい
  • 用途に合わせたレーザー加工システムを開発したい

加工可能な材料・加工方法

ガラス微細穴、微細溝、内部改質、切断、マーキング
セラミクス微細穴、切断、微細加工
金属微細穴、微細加工、マーキング
樹脂微細加工、表面改質、マーキング
FPC切断、微細加工
シリコンウエハダイシング、微細加工
サファイア基板スクライビング、切断、微細加工

独自制御ソフトによる高度な同期制御
レーザー出力・照射タイミング・走査速度を高度に同期制御する、独自開発の制御ソフトウェアを搭載。加工内容に応じた柔軟な制御により、お客様ごとの最適な加工条件構築を支援します。

特長

加工可否や加工品質を評価できる

加工トライアルを通じて、加工可否や加工品質、加工条件を評価します。

IRピコ秒・Greenフェムト秒レーザーに対応

材料や加工内容に応じてレーザーを使い分け、高品質な微細加工に対応します。

ガラス・セラミックスなどの難削材(難加工材)に対応

難削材の加工トライアルに対応し、加工条件の評価を行います。

お客様の用途に応じた加工条件をご提案

加工内容やご要望に応じて、最適な加工方法・加工条件をご提案します。

加工事例

掲載している加工例以外にも、さまざまな材料・形状の微細加工に対応しています。

ガラス、セラミックス、金属、樹脂、サファイア、シリコンウエハなど、加工対象や用途に応じて加工条件を検討し、加工トライアルによる検証が可能です。

加工幅:約20~25μm
加工深さ:約10μm
高反射・高熱伝導の銅に、溶融やバリを抑えた微細掘り込み加工を実現。

加工幅:約22μm
加工深さ:約14μm
均一な底面形状と安定した深さ制御を実現。

加工幅:約25~30μm
加工深さ:約20μm
熱影響を抑えた、シャープなエッジ形状の微細加工を実現。

加工幅:約3μm
内部改質による高精度な切断で、直線性の高い切断ラインを実現。

加工幅:約70μm
ガラス・セラミックスへの高精細文字加工や、サブミリ領域のパターン形成に対応。

加工径:約67μm
クラック・欠けを抑え、滑らかなプロファイルの凹加工を実現。

レーザー加工の様子

高速度カメラで撮影したレーザー加工の様子をご覧いただけます。

レーザー照射から加工が進む様子を高速度カメラで撮影しています。超短パルスレーザーによる微細加工のイメージをご確認いただけます。

▼ YouTube動画

加工トライアルの流れ

加工内容や材料、ご希望の品質に応じて最適な加工方法をご提案します。
お問い合わせから加工トライアル、評価結果のご報告までの流れをご紹介します。

01 お問い合わせ・ご相談

加工内容や材料、ご要望をお聞かせください。

02 ヒアリング・加工条件の検討

加工対象やご希望の品質を確認したうえで、最適な加工方法・条件をご提案します。

03 加工トライアル

IRピコ秒・Greenフェムト秒レーザーを用いて加工を実施します。

04 評価の結果

加工結果や加工条件、評価内容をご報告します。

05 必要に応じてご提案

加工実験の結果をもとに、お客様の用途に最適なレーザーシステム構成をご提案いたします。

基本仕様

装置本体

外寸W1905mm×H2284mm×D1810mm
重量3000kg以上
加工対象物W500mm×D340mm×H90mm以下

*冷却用チラーは本体構成に含まれますが、本体外部に設置されます。

軸(X-Y)

ストローク600mm×400mm
最大速度300mm/sec
位置決め精度±3μm
繰返し位置決め精度±1μm

軸(Z)

ストローク160mm
最大速度200mm/sec
位置決め精度±6μm
繰返し位置決め精度±2μm

レーザー発振器( IRファイバーレーザー)

型式YLPP-100-1-100-R(IPGフォトニクス社製)
最大パルスエネルギー90μJ
パルス幅2ps
最大平均出力90W
光学系ガルバノスキャナ/fθレンズ/ベッセル/LCOS

レーザー発振器(グリーンファイバーレーザー)

型式GLPF-100-750-25-R(IPGフォトニクス社製)
最大パルスエネルギー45μJ
パルス幅750fs
最大平均出力22.5W
光学系ガルバノスキャナ/LCOS

外観図

装置外観

装置内部

NSTが選ばれる理由

01|レーザーだけではない、総合的な技術力

レーザー、光学系、ステージ制御などの技術を組み合わせ、材料や加工目的に合わせたレーザー加工システムを構築します。

02|加工に合わせて、装置・制御を作り込める

レーザーの照射とステージ・走査系を同期させる制御や、Gコード拡張、パルス間引きなど、加工に合わせた独自の制御・ソフトウェアを開発します。

03|加工だけで終わらない、システム開発

加工シミュレーションや機上検査などを組み合わせ、加工前の条件検討から加工後の検査・評価まで、用途に合わせたシステムとしてご提案します。

よくあるご質問

【Q】加工できるかわからない材料でも相談できますか?

【A】はい、ご相談いただけます。加工内容や材料をお伺いし、加工可否や加工条件を評価します。

【Q】加工条件の相談だけでも可能ですか?

【A】はい、可能です。加工方法や加工条件に関するご相談から承っています。

【Q】加工トライアル後に設備の相談もできますか?

はい。加工実験の結果をもとに、お客様の用途に最適なレーザーシステム構成のご提案も可能です。

製品をご検討のお客様へ

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